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日本MITAKA 非接触三维形状测量机

描述：日本MITAKA 非接触三维形状测量机
本设备为日本 MITAKA 三鹰光器 NH-3SPs 点自动对焦式非接触三维形状测量机，依靠光学自动对焦探针扫描获取样品三维坐标，全程无探针接触，避免划伤镜面与精密工件。搭载高精度电动三轴位移平台，纵向具备纳米级分辨能力，可适配透明光学元件、金属模具、薄膜、微结构晶圆等试样。

  • 产品型号：NH-3SPs
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-07-22
  • 访问量：32
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本MITAKA 非接触三维形状测量机

基础核心参数

  1. 工作原理：光学探针自动锁定样品表面焦点，三轴平台有序移动采集三维坐标，重构试样形貌；设备存储扫描参数、测量时序完整数据，导出报表用于光学加工工艺复盘。

  2. 行程范围：X150mm × Y150mm；Z 标准 10mm，可选拓展至 130mm

  3. 标尺分辨率：X/Y 0.01μm；AF 纵向 0.001μm

  4. 探测方式：点自动对焦光学探针

  5. 可测斜面：支持大倾角曲面，适配非球面、菲涅尔结构

  6. 适用试样：透明光学件、金属模具、薄膜、光栅、微透镜阵列

  7. 配套功能：轮廓分析、粗糙度评估、面型拟合、缺陷观测

  8. 通讯方式：工业数据接口，对接计算机处理系统

  9. 可选模块：旋转 θ 台、恒温防尘外罩、多倍率物镜

  10. 使用环境：温控防震实验室、光学加工质检车间

日本MITAKA 非接触三维形状测量机

核心功能特点

  1. 非接触光学测量，不会损伤抛光镜面、镀膜与超薄试样。

  2. 纵向纳米级分辨能力，满足高精度光学元件面型质检需求。

  3. 对焦探针可稳定追踪大斜率曲面，适配各类非球面透镜与模具。

  4. 一机兼顾三维轮廓、粗糙度、沟槽尺寸多项检测，设备利用率高。

  5. 电动三轴平台定位稳定，重复扫描一致性优异，适合平行比对试验。

  6. 适配低反射率试样，少量反光工件同样可完成有效扫描测量。

  7. 专业分析软件自动输出面型误差、曲率、波纹度等报告。

  8. 整机高刚性结构，可搭配恒温防尘外罩，降低环境扰动带来误差。

  9. 程序可保存复用，换产仅需调用参数，缩短调试耗时。

  10. 完整质检台账留存，原始三维扫描数据可回溯，光学元件项目验收可直接调取形貌管控记录。

适用场景

  1. 光学加工行业：非球面透镜、菲涅尔透镜、微透镜阵列面型检测。

  2. 精密模具工位：金刚石车削光学模具轮廓、表面粗糙度扫描。

  3. 显示照明领域：导光板、光栅、微结构薄膜三维形貌评估。

  4. 半导体研发：晶圆表面凹凸、微型元器件高度与轮廓测量。

  5. 第三方光学检测机构：参照规范开展光学元件理化形貌评估。

  6. 高校光电实验室，精密光学曲面测量教学配套设备。

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