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日本nanotec 硬质薄膜制备试验装置

描述：日本nanotec 硬质薄膜制备试验装置
实验室专用小型真空成膜设备，用于完成类金刚石薄膜的制备实验，实现样品表面改性处理。整机集成真空腔体、气路、控制系统，操作界面集中，适合开展新材料配方、工艺条件摸索，多用于高校实验室以及企业前期工艺研发。

  • 产品型号：ICF‑330
  • 厂商性质：代理商
  • 更新时间：2026-08-25
  • 访问量：22
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION

日本nanotec 硬质薄膜制备试验装置

核心参数

  • 产品型号：ICF‑330

  • 产品类型：小型 DLC 成膜实验装置

  • 腔体形式：小型真空腔体，带观察视窗

  • 成膜工艺：等离子体 DLC 类金刚石膜沉积

  • 控制系统：触控屏集中操作，工艺参数可编程

  • 气路系统：多路工艺气体独立控制调节

  • 真空系统：内置真空获得与测量单元

  • 急停保护：配置急停按钮，安全联锁

  • 供电电源：AC200‑240V 三相供电

  • 整机尺寸：1250×850×1400mm

  • 整机重量：约 780kg

  • 工作环境：15‑30℃，湿度 20‑70% RH，洁净无粉尘

日本nanotec 硬质薄膜制备试验装置

功能特点

  1. 小型化整机设计，适配实验室研发场景，开展 DLC 膜工艺实验。

  2. 触控人机界面，可编辑、保存多组成膜工艺程序。

  3. 多路气体独立调控，方便调整实验工艺配比。

  4. 真空腔体配置观察窗口，可直观查看腔内实验状态。

  5. 集成真空检测单元，实时监控腔体真空状态。

  6. 配备安全急停组件，保障设备实验操作安全。

  7. 模块化结构，腔体、气路维护拆装较为方便。

  8. 可对各类试样开展硬质薄膜沉积，完成表面改性研究。

  9. 整套设备集成度高，减少外部配套设备搭建工作量。10. 适合工艺摸索，为量产镀膜设备提供前期实验数据。

适用场景

  1. 企业研发部门，DLC 涂层工艺配方开发实验。

  2. 高校、科研院所，薄膜材料相关课题研究。

  3. 机械零部件硬质保护膜的前期试样制备。

  4. 新材料领域，类金刚石薄膜性能基础研究。

  5. 医疗器械试样表面改性的小批量实验。

  6. 模具、刀具样品镀膜工艺条件摸索。

  7. 摩擦学相关实验，制备耐磨薄膜试样。

  8. 镀膜产线投产前，工艺参数预实验验证。

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