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日本真空 SHINKUU HPC-1SW 空心阴极锇镀膜仪简介

更新时间：2026-07-06

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HPC-1SW 是日本真空设备（SHINKUU）手动经济型空心阴极锇镀膜设备，专为 FE-SEM 场发射扫描电镜、TEM 透射电镜样品导电预处理设计，采用低压空心阴极等离子成膜工艺，可在生物、高分子、多孔、凹凸复杂样品表面镀制超薄无定形锇导电层，低损伤、绕镀性优异，是高校、材料实验室电镜制样基础主流设备。

一、技术规格

核心镀膜体系参数

成膜原理：空心阴极低压 DC 辉光放电 CVD 锇镀膜，放电电压≤700V 低压区间
样品腔规格：内径 φ120mm、腔高 90mm 硬质真空玻璃腔体
空心阴极筒：内径 φ105mm、深度 37mm，全域均匀高密度等离子体
浮动样品台：直径 φ50mm，兼容块状、粉末、薄膜、切片多形态试样
适配锇源：标准锇安瓿试剂，耗材消耗量低，活性炭尾气吸附回收未反应锇蒸汽
成膜特征：无定形超细锇膜，无金 / 铂镀膜晶粒粗大问题，适配超高倍率电镜观测

真空与动力配置

配套真空泵：G-50DA 专用旋片泵，抽速 50L/min
整机供电：AC100V 单相 15A
控制面板：双表头（真空 / 放电电压）+ 调压旋钮，全手动时序控制镀膜时长
安全尾气处理：内置活性炭捕集器，吸附有毒锇蒸汽，降低通风橱依赖

机身尺寸与重量

主机外形：W200×D350×H375mm，主机净重 15.5kg
真空泵单元：W156×D341×H200mm，泵体 12kg，可分体摆放节省台面

标准 / 选配配件

标配：镀膜主机、G-50DA 真空旋片泵、锇试剂安瓿、活性炭吸附芯、真空密封配件、操作手册
选配：OSK 安瓿破碎机构、OST-20 专用锇捕集器、外置通风罩、样品旋转支架、厚度监控程序 SPG-20

二、工作原理

设备真空腔抽至设定低压后，空心阴极筒施加≤700V 直流低压，内部产生均匀环绕式高密度等离子场；击碎锇安瓿释放微量锇蒸汽，等离子体激发锇原子均匀沉积在腔体内全部样品表面。

空心阴极环绕式等离子具备强绕镀能力，样品凹槽、孔隙、侧面、底面均可附着连续导电锇膜；低压放电大幅降低离子轰击能量，生物软组织、脆弱高分子不会出现灼烧、形变损伤；尾气活性炭吸附未反应锇蒸气，避免有毒金属蒸汽扩散污染实验室环境。

锇膜为非晶超细结构，不会像金膜产生晶粒干扰，十万倍以上超高倍率电镜成像无伪影。

三、现场使用优势

1. 空心阴极全域等离子，复杂凹凸样品全覆盖

传统溅射仪仅样品正面镀膜，缝隙、孔洞、样品侧壁导电层缺失；空心阴极筒环绕式等离子 360° 均匀沉积，多孔材料、泡沫、生物切片、凹凸零部件一次完成全域导电处理。

2. ≤700V 低压放电，软质样品低损伤

金 / 铂高电压溅射易击穿高分子、细胞、凝胶类软样品；本机低压等离子离子能量极低，生物试样、超薄薄膜不会变形、碳化，保留原始微观形貌。

3. 无定形超细锇膜，超高倍率电镜无晶粒干扰

金、铂镀膜会析出微米级晶粒，高倍观测掩盖样品真实微观结构；锇膜呈均质非晶态，适合 FE-SEM、TEM 纳米尺度形貌表征。

4. 活性炭尾气吸附，实验室安全环保

锇蒸汽具有毒性，设备集成专用活性炭捕集芯，吸附残余锇气体，无需强力通风橱即可稳定运行，降低实验室通风改造投入。

5. 经济型手动机型，中小实验室采购友好

全自动机型成本高昂，HPC-1SW 简化触控改为表头手动调压，基础电镜实验室、高校院系多机组批量采购预算压力更低，操作流程简单易上手。

6. 浮动大样品台，兼容多种制样载体

φ50mm 浮动台可放置硅片、铝样品座、载网、粉末样品皿，块状、颗粒、薄膜试样无需更换工装，换样快速高效。

7. 分体式真空泵，台面布局灵活

真空泵与镀膜主机分离摆放，通风橱、小型实验台狭小空间可分开安置，不占用电镜操作台核心区域。

四、适用场景

生物医学电镜观测：细胞切片、软组织、凝胶、微生物低损伤导电预处理
高分子材料研发：塑料、树脂、泡沫多孔材料、薄膜 FE-SEM 超高倍率制样
纳米粉体 / 填料表征：碳粉、无机矿物、催化剂粉末均匀镀膜，消除荷电效应
半导体微电子：晶圆微小线路、光刻胶、有机光刻层无损伤导电处理
地质矿物实验室：多孔岩石、黏土、矿物薄片全域导电镀膜
高校共享电镜平台：大批量学生试样快速低成本预处理，日常常态化使用
TEM 透射样品前处理：超薄切片、碳膜载网均匀薄锇修饰，提升衬度

五、日常维护

每次镀膜结束清理真空玻璃腔体内壁锇沉积物，避免透光变差、等离子分布不均；
活性炭吸附芯定期更换，饱和后失去锇蒸汽吸附能力，存在环保安全隐患；
真空密封圈、玻璃腔密封胶圈每月检查，出现漏气及时更换，保证等离子稳定；
空心阴极筒内壁沉积过厚锇层时做清洁处理，防止等离子放电偏移、镀膜不均；
真空泵定期更换专用真空油，维持 50L/min 标准抽速，缩短腔体抽真空等待时间；
禁止长时间超高电压空载放电，避免阴极筒老化缩短使用寿命；
长期停机前通入干燥氮气吹扫腔体，去除残留锇蒸汽，防尘防潮存放。

HPC-1SW 空心阴极锇镀膜仪依托低压低损伤空心阴极等离子、360° 全域绕镀、无定形超细锇膜适配超高倍电镜、内置锇蒸汽活性炭吸附、经济型分体式紧凑结构五大核心优势，解决传统金 / 铂溅射损伤软样品、复杂样品侧壁无导电层、高倍成像晶粒干扰、有毒锇蒸汽污染实验室的痛点。面向中小实验室、高校共享电镜平台设计，性价比突出，是生物、高分子、纳米材料场发射电镜样品预处理主流经济型锇镀膜设备。

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